YAMATO等離子裝置，13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機，搭載 RIE·DP 雙模式。 使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。特征：可變更電極構造提高等離子效果。搭載高精度適配器，高性能RF 電源?？筛鶕枨笠幐裉峁┒ㄖ?。

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更新日期：2021-03-02

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YAMATO等離子清洗機，經濟型、通過等離子化氣體的活性作用對處理對象表面進行改質、清洗。 特點：經濟型等離子清洗機。簡單的等離子處理操作。無需高頻使用申請。

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更新日期：2021-03-02

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YAMATO等離子灰化機，PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制（PR500/510） 低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。

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更新日期：2021-03-02

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